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東レエンジニアリング(所在地:東京都中央区、社長:河村良一)は、半導体検査装置メーカーのNGR(所在地:神奈川県横浜市、社長:山本昌宏)との間で、同社に出資することで合意し、出資を実施した。東レエンジニアリングは今回の出資を機にNGRとの戦略的提携関係を構築し、半導体装置分野での事業拡大を加速させる。
NGRは2000年7月の設立以来、電子ビーム技術を用いた独自のコンセプトに基づいた半導体検査装置の開発に専念してきたが、近年、微細化・複雑化する最先端半導体デバイス製造では従来の手法では歩留まり新たな半導体検査装置が求められる中、NGRの計測技術は世界の半導体メーカーの注目を集めている。半導体製造工程の微細化・複雑化は進展を続けており、今後さらに検査装置の需要が拡大する中、東レエンジニアリングはNGRとの戦略的提携関係を構築し、この分野での事業拡大に取り組む。
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